薄膜形貌的AFM观察

摘要：

@@ 八十年代末九十年代初发展起来的纳米科学技术已成为倍受科技界关注和重视的热门领域,被认为是面向二十一世纪的新科技.而基于扫描隧道显微镜(STM)基本原理而发展起来的一系列扫描探针显微镜(SPM)无疑为纳米科技的诞生与发展起到根本性的推动作用,同时纳米科技的发展又将为SPM的应用提供广阔的天地.

机标关键词：薄膜形貌、纳米科技、扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜、纳米科学技术、二十一世纪、热门领域、新科技、科技界、原理、应用

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金59735110

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：593-594