10.3969/j.issn.1000-6281.2000.04.096
硅传感器反应离子刻蚀的观察
@@ 六十年代发展起来的微电子技术,已大大影响了人类社会的面貌,而由微电子技术与机械学相互交叉而诞生的微机械技术,正成为一项新的产业.
硅传感器、反应离子刻蚀、微电子技术、微机械技术、机械学、交叉、产业
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TB3(工程材料学)
2006-09-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
583-584
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硅传感器、反应离子刻蚀、微电子技术、微机械技术、机械学、交叉、产业
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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