正交配置EBIC的线形

摘要：

@@ 少子扩散长度(L)是表征半导体材料性能的一个重要参量.扫描电子显微镜的电子束感生电流(EBIC)常用于测定少子扩散长度,但由于表面复合的影响,给精确测定L值带来困难,本文给出一个简单模型,讨论了EBIC信号的线形,并结合GaP样品对少子扩散长度进行了讨论.

机标关键词：正交配置、少子扩散长度、扫描电子显微镜、电子束感生电流、精确测定、简单模型、材料性能、表面复合、半导体、样品、信号、参量、表征

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：579-580