TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱

摘要：

@@ 金属氮化物多层膜的研究,由于它在摩擦学及微电子学方面的广泛应用[1],而越来越受到人们的关注.本文对一组TiN/TaN多层膜进行了原子力显微镜(AFM)表面形貌的实验研究,并借助于多重分形的方法表征了不同周期多层膜的表面形貌.

机标关键词：周期多层膜、原子力显微镜、显微镜图像、多重分形谱、表面形貌、金属氮化物、微电子学、实验研究、摩擦学、应用、方法、表征

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金19574044

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：437-438