NbN/TaN超晶格薄膜的界面结构

摘要：

@@ 当调制周期在某一范围时,一些陶瓷超晶格薄膜会出现硬度大大上升的超模量或超硬度效应,从而引起人们的关注[1].从已研究的超晶格薄膜体系来看,产生超硬效应的超晶格薄膜都具有以相同晶体结构外延生长的界面结构特征[2].本文研究发现,在由不同晶体结构类型形成共格界面的NbN/TaN超晶格薄膜中,也存在超硬度效应.

机标关键词：超晶格薄膜、界面结构特征、interface structure、晶体结构、超硬度、超硬效应、外延生长、结构类型、共格界面、调制周期、膜体系、陶瓷、模量

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：435-436