TiN/NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应

摘要：

@@ 由于存在超模量和超硬度效应,纳米多层膜的力学性能成为近年来薄膜研究的热点之一.金属/金属、金属/陶瓷、和陶瓷/陶瓷组成的纳米多层膜都得到了研究.陶瓷/陶瓷体系因表现出更高的硬度值而受到重视,并发现了一些具有超硬效应的多层膜体系[1,2].本文制备了NbN/TiN纳米多层膜,并研究了其界面微结构与超硬度效应.

机标关键词：纳米多层膜、界面结构、超硬度、超硬效应、陶瓷、金属、界面微结构、膜体系、力学性能、硬度值、组成、模量、薄膜

所属期刊栏目：19

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2006-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：431-432