扫描电镜自动样品台控制系统

摘要：

本文主要从自动样品台控制系统的功能分析、设计原理以及运作过程的角度阐述其开发设计的基本思想与所采用方案,并通过对其性能、结构特点等的介绍表明系统具有相对独立性和扩展性,可对不同的电镜样品台进行改造,具有广泛的应用前景.

关键词：扫描电子显微镜、样品台控制系统

所属期刊栏目：19

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：76-80