扫描隧道显微镜微位移驱动器(爬行器)的研究

摘要：

设计并制作了一种用于扫描隧道显微镜(STM)的吸附式微位移驱动器(爬行器),针对其基本特性,提出了优选制备工艺与优化程序相结合的方法.确定了必要的工艺过程,制作了合适的驱动电路,以及合理的控制程序,在控制程序中引入了面向对象技术,采用了Visual C++编程,使程序具有合理的工作模型和良好的用户界面,该爬行器的性能与国外同类产品基本相同,造价仅为它们的百分之几.

关键词：扫描隧道显微镜、爬行器、压电元件

所属期刊栏目：18

分类号：TN16(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：569-573