电子通道花样分析技术的进展
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10.3969/j.issn.1000-6281.1999.02.013

电子通道花样分析技术的进展

引用
本文对电子通道花样分析技术的原理和方法进行了评述.并讨论了在材料科学应用中选区电子通道花样分析技术的要点和展望.

电子通道花样、摇摆电子束、选区尺寸、球差系数

18

O766(晶体结构)

2004-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共11页

223-233

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1000-6281

11-2295/TN

18

1999,18(2)

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