纳米结构可重入STM/SEM超高真空多功能系统的研制

摘要：

扫描隧道显微镜(STM)分辨率极高,是微观研究的重要仪器;但由于其视场小,样品易受污染等原因,在某些研究工作中的应用受到了限制.扫描电子显微镜(SEM)的最低放大倍数在十倍左右,视场可达20mm2～30mm2(如4mm×6mm),可以引导扫描隧道显微镜进入试样预期研究的区域;另外超高真空的扫描电镜的样品室可以为扫描隧道显微镜提供清洁的工作环境,减少样品的污染.超高真空扫描电镜与扫描隧道显微镜的结合,可以弥补扫描隧道显微镜的不足,同时也拓展了扫描电镜的应用领域.本文介绍了集扫描隧道显微镜和扫描电镜于一体的纳米结构可重入STM/SEM超高真空多功能系统的基本原理、结构和性能情况.

关键词：纳米结构、重入、超高真空、扫描电镜

分类号：TN16;TB7;TH703(真空电子技术)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：148-150