用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布

摘要：

@@ 在扫描电子显微观察的同时,用EDS测量薄膜的厚度及其元素的深度分布[1,2]简便可行.

机标关键词：测量、薄膜、厚度、元素、显微观察、深度分布、扫描电子

所属期刊栏目：17

分类号：TQ32

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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