高分辨扫描电子显微学

摘要：

@@ 目前的扫描电镜可以分为三类,即热发射电子枪扫描电镜,场发射电子枪扫描电镜[1],场发射电子枪低像差物镜扫描电镜.

机标关键词：高分辨、扫描电镜、电子枪、场发射、热发射、物镜

所属期刊栏目：17

分类号：O7(晶体学)

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：0