一种基于 MEMS 芯片的新型地面大气电场传感器
该文基于 MEMS 电场敏感芯片,研制出了一种新型的地面大气电场传感器,解决了现有场磨式电场仪易磨损、功耗大、故障率高等问题。敏感芯片采用 SOIMUMPS 加工工艺制备,其芯片面积仅为5.5 mm×5.5 mm。该文提出了传感器敏感芯片的弱信号检测方法,设计出了满足环境适应性的传感器整体结构方案,并建立了传感器的灵敏度分析模型。对电场传感器进行测试,测量范围为-50 kV/m~50 kV/m,总不确定度为0.67%,分辨力达到10 V/m,功耗仅为0.62 W。外场试验结果表明,MEMS 地面大气电场传感器在晴天和雷暴天的电场探测结果,与 Campbell 公司场磨式电场仪探测结果都有较好的一致性,说明该传感器能满足预测雷暴要求,实现雷电监测和预警功能。
微机电系统、电场传感器、MEMS 地面大气电场传感器
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TP212.1(自动化技术及设备)
国家自然科学基金项目61327810,61201078;国家自然科学基金重大仪器专项61302032Foundation Items:The National Natural Science Foundation of China61327810,61201078;The National Major Scientific Research Equipment Development of National Natural Science Foundation of China61302032
2016-07-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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