基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法

摘要：

为了准确测量空间3维电场，解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题，该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X, Y, Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路，该文提出采用3个不共线的平面分布电场敏感单元，利用电场耦合灵敏度矩阵实现电场3个正交分量的准确解调。采用3个基于微机电系统(MEMS)技术的振动微结构电场敏感单元成功制作出3维电场传感器样机。该文设计出一种可实现任意角度旋转的新的传感器夹具，并构建了3维电场测试标定系统。实验表明，该文研制的3维电场传感器可实现电场3个分量的准确测量，结构简单，消除了3个电场分量之间的耦合干扰，提高了测量精度。

关键词：MEMS电场传感器、3维电场、耦合干扰、3维标定

分类号：TP212;TM937(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划项目2011AA040405;国家自然科学基金61101049,61201078,61302032,61327810资助课题

在线出版日期：2014-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2504-2508