用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究

摘要：

该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法.该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装.使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度.对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察.使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析.实验结果表明,在0.5～10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62 μ A/(mg/L),线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73％.同时,传感器显示出良好的选择性.

关键词：微型电化学氨气传感器、三维微纳器件、水质监测、氨氮

所属期刊栏目：34

分类号：TP212.3(自动化技术及设备)

资助基金：国家973计划项目2009CB320300;国家自然科学基金60971070,61072023资助课题

在线出版日期：2012-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1257-1262