一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片

摘要：

读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端,是决定系统性能的关键因素.本文针对音叉式体硅微陀螺的具体应用,提出了一种低噪声电容读出电路,芯片采用斩波技术降低了电路的低频1/f噪声、失调电压以及参考电压失配的影响,提高了读出电路的分辨率和动态范围;提出一种噪声电荷转移的分析方法,用于分析和预测读出电路的噪声性能;建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型,用于模拟读出电路对微传感器的响应.读出电路在0.35 μm 2P4 M 标准CMOS工艺下设计流片,并与微传感器进行了联合应用,芯片面积为2×2.5 mm~2,在5 V电源电压,100 kHz的时钟频率下,实现了4 aF/√HZ的电容分辨率和94 dB的动态范围.

关键词：微陀螺、读出电路、低噪声、斩波

所属期刊栏目：32

分类号：TN431.1(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家863计划项目2007AA04Z349资助课题

在线出版日期：2010-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：203-209