一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器

摘要：

该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案.利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定.用matlab-simulink工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时,系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率,和开环驱动方案相比,传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内,灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内.

关键词：微型电场传感器、闭环、自激驱动电路

所属期刊栏目：31

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划项目2006AA04Z347资助课题

在线出版日期：2010-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2776-2780