IC缺陷轮廓多分形特征研究

摘要：

IC真实缺陷轮廓曲线的形状特征对集成电路成品率预报及故障分析有重要影响.该文提出缺陷轮廓曲线具有多分形特征,以某一真实缺陷为例,用小波变换模极大(WTMM)的方法估计了其轮廓曲线参数方程的多分形谱,该结果为硅片表面缺陷的精细表征及其计算机模拟作了有益探索.

关键词：IC缺陷轮廓、小波变换模极大、多分形谱、尺度指数

所属期刊栏目：29

分类号：TN43(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA1Z1630

在线出版日期：2007-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：496-498