阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究

摘要：

该文提出了"阴极-敏感薄膜复合"结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了"阴极-敏感薄膜复合"结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响.

关键词：真空微电子、压力传感器

所属期刊栏目：23

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2003-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84