基于田口试验设计的TiAlN涂层膜基结合力控制参数优化

摘要：

应用模糊集理论对因子的严重度、检测度、可控度建立了相应的模糊语言术语集和模糊数,并结合关联矩阵法建立了适用于田口方法的因子选择模型.对影响高功率脉冲磁控溅射技术制备的TiAlN涂层与硬质合金之间膜基结合力的工艺参数进行选择,应用田口方法对工艺参数基体偏压、脉冲电流、氩氮流量比、工作气压进行优化,优化后的工艺参数组合为基体偏压150 V,脉冲电流60 A,氩氮流量比24/6,工作气压为0.5 Pa.

关键词：模糊集理论、关联矩阵、田口方法、膜基结合力

所属期刊栏目：15

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2020-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：698-702