10.3969/j.issn.1673-5692.2020.07.015
基于田口试验设计的TiAlN涂层膜基结合力控制参数优化
应用模糊集理论对因子的严重度、检测度、可控度建立了相应的模糊语言术语集和模糊数,并结合关联矩阵法建立了适用于田口方法的因子选择模型.对影响高功率脉冲磁控溅射技术制备的TiAlN涂层与硬质合金之间膜基结合力的工艺参数进行选择,应用田口方法对工艺参数基体偏压、脉冲电流、氩氮流量比、工作气压进行优化,优化后的工艺参数组合为基体偏压150 V,脉冲电流60 A,氩氮流量比24/6,工作气压为0.5 Pa.
模糊集理论、关联矩阵、田口方法、膜基结合力
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TG174.444(金属学与热处理)
2020-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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