氦质谱细漏检测最长候检时间的定量拓展

摘要：

通过论证和推演,对各种氦质谱细漏检测方法给出了当细漏氦气测量漏率判据Rmax小于粗漏判据相应的氦气测量漏率判据R0max时,定量拓展细漏检测最长候检时间的公式,并给出了保持被检件内部氦气分气压不低于0.9倍的正常空气中氦气分气压PHe0的方法.

关键词：氦质谱、细漏检测、最长候检时间、定量拓展

所属期刊栏目：10

分类号：TB774+.3(真空技术)

在线出版日期：2016-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：579-585