压氦法和预充氦法氦质谱细检漏固定方案的设计

摘要：

以“氦质谱细检漏的基本判据和最长候检时间”为基础,分析了密封电子元器件内部水汽不超过5 000 ppm的可靠贮存寿命,确定了细漏检测的严密等级THemin分级,界定和拓展了适用内腔容积并进行了分段,设计了压氦法和预充氦法的固定方案,验证了固定方案规定的最长候检时间可以满足去除吸附氦的要求.从而突破了国内外相关标准改进中难以或无法实施的技术瓶颈,为加严密封性判据改进相关标准,提供了可行的技术方案.

关键词：氦质谱细检漏、严密等级ΤHemin、最长候检时间、压氦法固定方案、预充氦法固定方案、去除吸附氦

所属期刊栏目：8

分类号：TB42(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2014-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：656-660