一种新型三维MEMS电容式矢量水听器研制

摘要：

介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器.该矢量水听器的检测单元包括一个“三明治”结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路.通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路,使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率.利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器,检测单元相互正交并进行了声学灌封.矢量水听器完成了水下驻波场测试,测试结果表明:该矢量水听器的接收灵敏度在1 000Hz时达到-180 dB(0 dB re 1 V/μPa),动态范围大于120 dB.

关键词：MEMS、矢量水听器、接收灵敏度、动态范围

所属期刊栏目：8

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2013-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：205-208