10.3969/j.issn.1673-5692.2011.03.023
基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器
介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品.经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa.
MEMS、光学检测、声传感器、灵敏度
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TP212(自动化技术及设备)
2011-12-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
320-323