光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用

摘要：

首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型化成为可能.重点论述一个MEMS激光雷达设计实例,比较其与FLASH激光雷达工作原理的异同,列举了其潜在性能指标.

关键词：MOEMS、MEMS、激光雷达、实时成像

所属期刊栏目：6

分类号：TN42;TN958(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2011-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38