10.3969/j.issn.1673-5692.2005.03.006
射频MEMS技术及其应用
本文从射频微波观点回顾了微电子机械系统(MEMS)技术进展,重点讨论在射频领域,特别是在雷达T/R组件上有望广泛应用的器件、组件以及系统.意在唤起重视MEMS技术在雷达上的推广应用,有益于雷达事业的蓬勃发展.
射频RF、MEMS、T/R组件、移相器
TN24(光电子技术、激光技术)
2006-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
27-31
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10.3969/j.issn.1673-5692.2005.03.006
射频RF、MEMS、T/R组件、移相器
TN24(光电子技术、激光技术)
2006-09-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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