小型化高密度可调控电感耦合等离子体发生器性能研究

摘要：

根据理论分析和磁场仿真结果设计并加工了一款用于黑障通信实验的电感耦合等离子体发生器,该装置能产生具有形状为半球形、厚度小于5?cm、等离子体密度为1×1018?m?3量级等黑障典型等离子体鞘层特征的等离子体薄层.采用等离子体发射光谱诊断的方法,研究了等离子体发生器产生等离子体的电子激发温度和电子数密度,并分析了线圈功率对等离子体特性的影响规律,对等离子体发生器乃至对电小天线辐射调控系统的进一步优化有参考作用.

关键词：黑障、电感耦合等离子体、等离子体发生器、光谱诊断

所属期刊栏目：51

分类号：TN136(真空电子技术)

资助基金：四川省国际科技创新合作项目;四川省科技厅重点研发项目

在线出版日期：2022-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：715-720