二维纳米机电谐振器高效制备

摘要：

设计并实现了一种二维纳米器件多功能制备系统,该系统不仅能够完成二维材料的高效转移,还能够实现金属电极的准确淀积,从而实现二维器件的高效、一体化制备.利用该系统,成功制备了基于二维半导体的纳米机电谐振器,并对器件进行了机电谐振幅频特性的测试.研究结果表明,设计的二维纳米器件多功能制备系统在纳米谐振器制备与研究中极具潜力.

关键词：干法转移、纳米器件制备、纳机电谐振器、金属电极制备

所属期刊栏目：51

分类号：TN305.99(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金U21A20459

在线出版日期：2022-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：452-457