硼掺杂硅翘曲对微加速度计灵敏度的影响

摘要：

研究了硼掺杂引起的结构翘曲量对微加速度计性能的影响，获取指导微加速度计设计更为准确的物理模型。通过解析计算，结合有限元仿真及实验等方法，研究了不同硼扩散深度对微加速度计灵敏度的影响，得出了不同掺杂状态下微加速度计灵敏度与结构翘曲量之间的关系表达式。理论分析与测试结果表明，考虑翘曲变形的微加速度计的灵敏度比无翘曲时的微加速度计灵敏度减小了约5 mV/g，而当硼扩散深度从90μm变化到120μm时，灵敏度变化量约为2 mV/g。硼掺杂引起的翘曲变形使微加速度计的灵敏度降低，且随着扩散深度增加，灵敏度增大。

关键词：硼掺杂、翘曲、微加速度计、灵敏度

所属期刊栏目：45

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金U1530132,51505068,51575090；中央高校基本科研业务费专项资金ZYGX2015J085, ZYGX2014Z004

在线出版日期：2016-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：696-700