氮化物外延生长在线监测技术

摘要：

金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术，是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法，也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求，MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提，面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况，并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。

关键词：曲率测量、生长信息、红外测温、MOCVD在线监测技术、光致发光

所属期刊栏目：45

分类号：T19

资助基金：四川省科技计划2014GZ0151,2016JQ0022；中央高校基本科研业务费ZYGX2013J115

在线出版日期：2016-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：650-658