计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

摘要：

通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合，实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下，如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右， SAM更高效；对于示例结构，相对于RCWA，SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。

关键词：衍射、光栅、测试、严格耦合波分析、层吸收法

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61501094

在线出版日期：2015-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：851-857