10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.024
化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构性能的影响
该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。
钛酸钡、介电性能、漏电流、薄膜材料
TB3(工程材料学)
国家自然科学基金51372034;广东省引进创新科研团队计划201001D0104713329
2015-10-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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