喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用

摘要：

为研究12寸晶圆切割过程中喷涂工艺设备参数对保护性薄膜厚度的影响,提高设备调整效率和工艺质量,采用均匀设计的实验方法,以薄膜在测试量块上的厚度为目标,对影响厚度的主要因素:涂料压力、微调阀和雾化压力进行研究.对实验数据采用SPSS进行非线性逐步回归得到了薄膜厚度的数学模型,揭示了各因素的交互关系,为测机调整提供数据依据,节省大量反复测机时间,在保证工艺质量的同时提高了喷涂设备的生产效率.该模型已成功运用于某芯片封装测试厂的喷涂设备,并取得了显著效果.

关键词：数学模型、生产率、保护性喷涂、回归分析、均匀设计

所属期刊栏目：39

分类号：TH162

资助基金：国家自然科学基金70701007;四川省青年基金09ZQ026-054

在线出版日期：2010-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：461-465