高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

摘要：

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1 000 mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求.为此该文采用长度为206 mm、频差约728 MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪.通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1 μm/800 mm.实验证明,该干涉仪可以对速度为1 000mm/s的运动物体进行位移和速度测量.

关键词：双频激光干涉仪、频差、高精度高测速、热稳频激光器

所属期刊栏目：38

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50275101;四川省科技攻关项03SG1230

在线出版日期：2009-09-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：451-454