梳状音叉MEMS陀螺非随机误差分析

摘要：

研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性.综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素,分析该陀螺中的非随机性干扰力矩;从二阶欠阻尼控制系统的角度,讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响;推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系.在一定近似条件下,得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式.

关键词：MEMS陀螺、非随机性误差、微电子机械系统、惯性导航

所属期刊栏目：35

分类号：V241.59(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：国家自然科学基金60472125;国防科技预研基金514090301;航空基础科学基金04D52030

在线出版日期：2007-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：928-931