低阻ITO玻璃的制造工艺

摘要：

有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求.该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火.得到方阻20 Ω以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃.

关键词：氧化铟锡、玻璃、有机发光二极管

所属期刊栏目：35

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：广东省科研项目H0401001W050311

在线出版日期：2006-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：261-263