不同掺Al3+浓度的ZnO:Al薄膜性能研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜,得到了不同掺Al3+浓度的ZAO薄膜;利用x射线衍射仪分析、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计及四探针法等仪器与方法对其性能进行了测试.通过分析比较,得出所制备的ZAO薄膜为多晶纤锌矿结构,薄膜表面平整、晶粒致密均匀;Al3+掺杂能提高其导电性能:低掺杂时,薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过80%,并伴有蓝移现象产生;高掺杂时,其透过率无明显增加,但蓝移现象加剧,最大蓝移量达340 nm.

关键词：ZnO:Al薄膜、Al3+掺杂、溶胶凝胶法、表面结构、光电性能

所属期刊栏目：35

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2006-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：253-256