高精度渗碳控制方法

摘要：

在采用电阻法直接测控碳势的方法中,提出了一种分段参数调节增量式PID算法,通过实际调试和理论推导表明,渗碳工艺过程控制具有控制超调量小、过渡时间短、精度高、软件实现方便等优点,稳定后碳势控制精度可达±0.03%.

关键词：电阻法、碳势、增量式PID算法、热电偶、控制精度

所属期刊栏目：32

分类号：TN39(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：645-648