光纤探针式轮廓仪的理论与实验研究

摘要：

在单根单模光纤作为发射光纤兼接收光纤的情况下,提出了光纤探针式轮廓仪,得到一个光纤探针来测量被测表面的微观轮廓曲线,并由轮廓曲线得到了表面粗糙度的各种参数和光纤探针的形状和尺寸.同时阐述了利用光纤探针测量表面轮廓和粗糙度的原理及光纤探针式轮廓仪的构成和工作原理,给出了测量结果.

关键词：粗糙度、光纤探针、轮廓仪、非接触测量

所属期刊栏目：32

分类号：TP212.14;TH74(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38