10.3969/j.issn.1001-0548.2000.03.018
折射型微透镜列阵制作的一种新途径
介绍了一种制作折射型微透镜列阵的新方法,其主要思想参考了灰阶掩模法.所用掩模板用激光直写制作,通过一次曝光即可在光刻胶上形成折射型微透镜的轮廓,并给出了微透镜轮廓的测试图样.
微透镜列阵、灰阶掩模、激光直写
29
O434.19;TH74(光学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
294-296
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10.3969/j.issn.1001-0548.2000.03.018
微透镜列阵、灰阶掩模、激光直写
29
O434.19;TH74(光学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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