氧化铝陶瓷基板紫外纳秒激光打孔工艺研究

摘要：

氧化铝陶瓷基板作为雷达微波组件的核心部件,其硬脆特性使得传统加工方法在导通孔加工中存在很多限制.激光加工作为一种非接触式高能束加工方法,是氧化铝陶瓷表面孔加工的最优选择.文中主要研究了紫外纳秒激光氧化铝陶瓷表面孔加工中的激光加工参数(包括激光平均功率、扫描速度和扫描次数等)对孔的特征尺寸(包括入口直径、出口直径和锥度)的影响规律,并分析了各种规律产生的相关机理.此研究为雷达微波用电子陶瓷基板的导通孔加工提供了有力的理论依据和技术支持.

关键词：雷达微波组件、氧化铝陶瓷、纳秒激光、孔

所属期刊栏目：36

分类号：TG937(钳工工艺与装配工艺)

资助基金：装备预研领域基金资助重点项目61409230310

在线出版日期：2020-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：36-41