柔性光电器件光电特性分析

摘要：

近年来,基于非晶铟镓锌氧化物的柔性光电薄膜晶体管在柔性显示、通信和探测等领域得到广泛应用.为提高柔性光电探测器的开关电流比和光谱灵敏度,文中基于SILVACO软件的ATLAS对柔性有源层非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管进行了模拟分析,研究在不同材料有源层厚度比情况下具有底栅电极结构的柔性光电器件的光电性能.分析结果表明,双有源层结构比单有源层结构薄膜晶体管有更好的电学性能,特别是在有源层结构厚度为40 nm的情况下,当铟锌氧(Indium-Zinc-Oxide,IZO)与铟镓锌氧(Indium-Gallium-Zinc-Oxide,IGZO)材料的厚度比为1:7时,柔性光电器件具有最佳的开关电流比;在波长为300 nm的光照下入射光对光器件的关态电流增益影响最大,光电器件的积分灵敏度最高,说明其对紫外光较敏感,有望应用在军事通讯、空间科学、环境和生物细胞癌变监测等紫外光波段探测领域.

关键词：柔性光电器件、非晶铟镓锌氧化物、双有源层结构、光电性能

所属期刊栏目：35

分类号：TN364+.3(半导体技术)

资助基金：广西自然科学基金资助项目2017GXNSFBA198180;广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任课题1725905004Z

在线出版日期：2019-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：55-59