大型等离子处理设备真空系统设计

摘要：

为使大尺寸印制板能够进行低温等离子处理,设计了大型等离子处理设备,该设备具有真空度可调的真空系统、电极可冷却的电源系统及基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Control,PLC)和触摸屏的控制系统.文中简要介绍了大型等离子处理设备的组成及工作方式,详细阐述了真空系统设计,包括真空泵组选型计算和基于有限元的真空腔体结构优化设计.实践证明,该设备具有等离子体产生速度快、腔体温度控制效果好等特点,达到了国内领先水平.

关键词：真空腔体、罗茨泵、有限元

所属期刊栏目：30

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2014-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-26,29