10.3969/j.issn.1008-5300.2005.06.012
蓝宝石晶片表面净化技术研究
阐述了在氮化镓生长中使用的蓝宝石晶片净化的重要性.论述了蓝宝石晶片的净化原理.通过净化试验研究,提出了适合于工业化生产的蓝宝石晶片清洗剂和净化工艺,满足了光电子领域所需的开盒即用的蓝宝石晶片表面质量要求.
蓝宝石晶片、净化工艺、清洗剂
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TH161;TN205
国家科技攻关项目2002AA311010;江苏省教育厅自然科学基金04KJD430213
2006-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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