基于MEMS技术的通信器件及其应用

摘要：

微电子机械系统是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统.目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题.以下简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等;重点综述了基于MEMS技术的通信器件及其应用.

关键词：微电子机械系统、可调谐激光器、光开关、光互连器、RF开关

所属期刊栏目：21

分类号：TH39(泵)

在线出版日期：2005-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-9,13