10.3969/j.issn.1008-5300.2004.06.012
105g压阻效应阵列式加速度微传感器硅悬臂梁结构分析
在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算.将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验曲线.对计算分析与实验结果进行了比较,指出并分析了误差可能出现的方面.
阵列式加速度微传感器、模态分析、结构分析、有限元、沙漏效应
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TP212;TH824.4;O342(自动化技术及设备)
2005-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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54-56,61