105g压阻效应阵列式加速度微传感器硅悬臂梁结构分析

摘要：

在已有105g压阻效应阵列式加速度微传感器版图设计的基础上,应用有限元理论及相关软件,对版图中的硅微悬臂梁进行了模态分析和结构动态计算.将宏观理论应用到微观结构分析中;并对该种结构的加速度传感器的样品进行了冲击实验,得到实验曲线.对计算分析与实验结果进行了比较,指出并分析了误差可能出现的方面.

关键词：阵列式加速度微传感器、模态分析、结构分析、有限元、沙漏效应

所属期刊栏目：20

分类号：TP212;TH824.4;O342(自动化技术及设备)

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-56,61