基于阻抗匹配器的二极管幅-相检测电路设计

摘要：

半导体芯片领域的竞争很大程度上取决于半导体装备以及核心零部件的竞争,如射频电源、阻抗匹配器等.设备的抗干扰能力以及稳定性等特性是衡量设备优劣的重要标准.对于阻抗匹配器而言,控制回路的精准、稳定以及快速响应是决定阻抗匹配器这款产品性能好坏的重要指标.因此,基于电容分压采样、电流互感器采样以及运放电路等相关原理,设计了 一款纯硬件电路的阻抗幅值、相位检测回路,并用仿真软件ADS2021进行模拟仿真实验,得到表征射频电源和负载之间阻抗匹配程度的模拟量Urms.通过实验测试表明,Urms越大表征射频源与负载之间失配越严重,功率传输效率越低;Urms越小表征射频源和负载之间的匹配程度越好,功率传输效率越高.同时,通过改变母线信号的输入功率,得到Urms与输入功率具有较高的线性相关性,因此该检测回路具有很好的稳定性,能够适用于宽范围匹配器阻抗的幅值、相位检测.

关键词：阻抗匹配、Urms、幅值-相位信号、线性相关

所属期刊栏目：49

分类号：TN407(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：季华实验室青年基金X220291XA220

在线出版日期：2023-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：120-125