一种基于MEMS的小型化双通带宽带滤波器芯片

摘要：

基于Micro-Electro-Mechanical System (MEMS)工艺,采用双层谐振腔滤波结构,分析并设计了一种基于MEMS的硅基Substrate Integrated Waveguide (SIW)双通带宽带带通滤波器芯片.设计的滤波器芯片在21.25-29 GHz以及43～47.5 GHz双通带频带内插入损耗小于3 dB,相对带宽分别为30％以及10％,带外抑制度大于20 dB,并且在双通带间产生了零点,尺寸仅为4.2 mm×1.1 mi×0.8 mm.该滤波器是平面堆叠结构,具有体积小、频带宽、易集成等优点,有较好的应用价值.

关键词：双通带、宽带、带通滤波器、SIW、MEMS

所属期刊栏目：47

分类号：TN713(基本电子电路)

在线出版日期：2021-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：48-51,56