基于PDMS的MEMS柔性天线的设计及制作

摘要：

设计了一种小型超宽带共面波导(CPW)馈电的MEMS单极子柔性天线,具有结构简单、质轻、易集成、可柔性弯曲的特点.该天线采用了具有高柔弹性和良好的自我恢复性的PDMS材料为介质基板,在柔性基板一侧设计了圆盘状的金属辐射结构,采用了CPW结构与天线集成于基板同一侧.实验中,验证了氧等离子刻蚀与SDS联合处理的方式能有效改善光刻胶与PDMS表面的粘附效果,并分别基于AZ6130胶、RZJ304胶、AZ5214E胶在PDMS柔性基底上利用金属剥离工艺制作了该CPW馈电的MEMS单极子柔性天线,对比了基于不同光刻胶制作的天线性能及剥离制作难度.该天线的频带为3.3 GHz～ 5.0 GHz,阻抗匹配良好,辐射方向性稳定,可适用于5G通信系统,亦为柔性天线的研究提供了参考.

关键词：柔性天线、单板子天线、共面波导、PDMS、剥离工艺

所属期刊栏目：44

分类号：TN823+.1(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家自然科学基金项目51475438,61401405;国家自然科学基金联合基金重点支持项目U1637212;山西省人社厅留学项目20150603ZX

在线出版日期：2018-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,12