热超声倒装键合机的视觉系统定位精度实验研究

摘要：

简要说明了视觉定位原理及定位实验数据的采集过程,并对倒装键合实验台的视觉定位系统的误差进行了理论分析.以热超声倒装键合实验台为平台,应用HexSight图像处理软件,对实验用1mm×1mm的表面有8个凸点的芯片进行定位实验.根据测得的实验结果,分别对定位系统的平移误差和旋转误差进行了分析.采用对5次识别结果取平均值的优化方法,使角度误差减小到0.023766.,单项误差减小到0.183μm,综合误差减小到0.554μm.试验结果表明,该视觉定位系统达到了热超声倒装键合过程中芯片与基板之间的定位精度的要求.

关键词：热超声倒装、视觉定位、误差分析

所属期刊栏目：34

分类号：TN6;TN4

资助基金：国家自基金项目:然科学基金资助项目50390064;国家教育部留学回国人员基金资助项目76084

在线出版日期：2009-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：146-150